氩气净化设备
RZ-YA系列氩气净化设备


一、关于氩气纯化的方法

第一种

    直接脱氧法。就是使用活性金属、催化剂与氩气中的氧气进行反应,消化掉氩气中的氧气,从而达到脱氧的目的,经过分子筛吸收掉氩气中的水份,使氩气的含水量小于1ppm。

第二种

    是采用吸气剂。在一定温度下,吸气剂可吸收氮、氢、氧、一氧化碳、二氧化碳、甲烷等气体经吸收处理后,氩气的纯度可达到6个九,这种工艺生产出来的高纯气体适用于各类仪器仪表适用要求。

    第一种方法设备投资小,第二种方法设备纯化纯度高但投资相对较大。

二、技术参数:

  1、处理气量:    5~1500 Nm3/h(可根据用户需要订做非标设备)

  2、原料气要求: 液氩或者较好的管道氩均可使用

  3、工作压力0.2-1.6MPa可调

  4、(氩气净化器)净化效能:纯化后符合并高于GB/T4842-2006的99.9996%要求

气体

纯度(%)

H2(ppm)

O2(ppm)

N(ppm)

CO2(ppm)

CH4(ppm)

露点 (H2O)

精氩

99.9996

≤0.5

≤0.5

≤0.5

≤0.5

≤0.5

1.5

  

三、设备特点:

   1、净化剂则采用了世界最先进的净化材料。其特点有吸附深度好,吸收杂质气体量大的特点,最高纯度可达99.9999%以上;

   2、净化器采用特殊结构和装料方法,流速设计合理,气流分布均匀;

   3、全BA级内外精拉管管路。采用进口卡套式球阀。杜绝了气体流经管路的再次污染,一次安装终身使用,真正做到零泄漏及无故障运行。

   4、双式结构,开机后一组工作,另一组再生、备用,而且RZ-YA-C系列半自动纯化装置工作和再生都自动进行,故能够连续供气,一台能顶单式的两台使用。

   5、本公司生产的RZ-YA-D系列全自动氩气纯化装置功能说明:

      A、具有全自动功能,使用操作最简单,开、停机只需按两个按钮,不需扭动任何阀门,这些工作都由PLC程序自动进行;这还克服了手动和半自动机型因人为操作失误引起的气体不纯,因此纯气质量也更加稳定。

      B、控制文本显示器采用合资品牌-昆仑通泰7吋液晶触摸屏,实时模拟显示工作流程状态和各种参数显示,并随时可以实现各参数的修正,极大的方便工作人员的操作。

      C、可根据用户需要配备在线分析仪,时时在线监测。

四、应用领域

    该系列氩气纯化装置用于高纯气体充装站、焊接、不锈钢制造、冶炼,还用于半导体制造工艺中的化学气相淀积、晶体生长、热氧化、外延、扩散、多晶硅、钨化、离子注入、载流、烧结等氩气作为制作单晶及多晶硅的保护气。

 

关键词

   氩气净化机,氩气净化装置,氩气净化设备,氩气净化器,多晶硅氩气纯化设备,单晶硅氩气净化装置,氩气纯化设备,氩气纯化器,氩气纯化装置。


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